1.真空度測量范圍:        9.999×10-1~1×10-5
2.離子電流測量范圍:    9.999×10-1~1×10-7
3.測量誤差:                   <10%
4.測量分辨率:               10-5pa
5.允許環(huán)境溫度:           -20℃~50℃
6.空氣濕度:                   ≤80%RH
7.電源:                          AC,220V,50Hz±10%
8.外型尺寸:                  420×290×210(mm)
9.高壓輸出:                  脈沖30kV15kHz
⒑重量:                         8kg
 
         
                            





